Air Products将在韩国平泽扩建半导体工业气体设施

9月4日，Air Products向韩国政府提交投资计划，将在京畿道平泽扩建半导体工业气体及稀有气体设施，为三星电子平泽新一代半导体制造基地配套供气。Air Products将建设超高纯气体生产装置，并新增半导体稀有气体分离和提纯设施。Air Products、Axcelis Technologies、Corning和Pacifico Energy当天提交的对韩投资计划合计约20亿美元，韩国政府未单独公布Air Products项目投资额。

项目涉及氮气、氧气、氩气和氢气生产及供应设施，相关气体将通过平泽厂区专用管线输送至三星电子半导体生产设施。Air Products还将建设大宗气体供应网络。稀有气体设施涉及氖气、氪气和氙气的分离与提纯。

三星电子已于4月29日选定Air Products为平泽下一代半导体工厂工业气体供应商。Air Products将在现场建设、持有并运营多套气体生产装置及大宗气体配送设施，相关设施计划于2028年至2030年分阶段投入运行。首批供气线路计划于2028年开始向三星电子新建晶圆厂输送工业气体。

Air Products已在平泽推进现场气体分离设施的工程及许可工作。9月4日提交的投资计划包括平泽半导体气体设施扩建以及稀有气体分离提纯设施建设。韩国政府公布的本次投资名单还包括Axcelis Technologies在韩国扩大离子注入设备生产、Corning扩大先进玻璃及半导体材料投资，以及Pacifico Energy推进韩国西南部3.2GW海上风电项目。

Air Products本次未公布各套制气装置产能、稀有气体提纯能力、厂区管线长度以及项目单独投资金额。现有建设时间表为2028年至2030年分阶段投运。