芬兰VTT技术研究中心集群溅射工具招标

招标类型：产品物资类招标(预公告)

项目名称：集群溅射工具采购预公告

采购方式：公开招标

合同类型：物资采购合同

项目描述：本次采购为芬兰VTT技术研究中心为其Micronova洁净室采购集群溅射工具的预公告。该采购将作为欧盟范围研究项目的一部分，由欧盟资金资助。因项目时间表和资金条件限制，无法遵守常规公开招标的标准截止日期，因此正式招标发布后，投标期将缩短至至少15天。

项目内容：为VTT Micronova洁净室采购一套集群溅射工具(cluster sputtering tool)，用于半导体薄膜沉积工艺。该系统将支持先进微电子和纳米技术研究，服务于欧盟范围内的合作研究项目。

供货范围：

集群溅射工具主机1套。

多靶材共溅射系统(支持双面涂层)。

晶圆及晶圆载体处理系统。

未来扩展所需接口及预留腔体位置。

设备控制软件及用户界面。

标准备品备件包。

专用工具及校准设备。

操作手册及技术文档(英文)。

安装调试服务。

操作培训服务。

12个月质保期内的技术支持。

远程诊断和维护访问权限。

软件更新及升级服务(质保期内)。

验收测试支持服务。

设备搬迁及重新安装支持(如有需要)。

技术要求：

具备多靶材共溅射能力，至少支持3个以上溅射靶位。

支持双面涂层晶圆和晶圆载体处理。

溅射均匀性优于±5%(全晶圆范围)。

系统本底真空度优于5×10⁻⁷ Torr。

配备高精度质量流量控制器(MFC)。

支持射频(RF)和直流(DC)溅射模式。

具备基片加热功能，最高温度不低于300℃。

支持原位预清洁或刻蚀功能。

配备终点检测系统。

自动化控制界面支持配方编程和多步工艺。

系统设计符合SEMI S2/S8安全标准。

洁净室兼容设计(ISO Class 5或更高)。

数据记录和追溯功能完整。

系统未来可扩展至少2个额外工艺腔室。

模块化设计便于维护和升级。

技术规范：符合国际半导体设备标准，支持200mm及以下晶圆尺寸处理，兼容标准晶圆载体。系统需满足欧盟CE认证要求，并提供完整的技术规格书。

技术标准：SEMI S2(环境、健康与安全标准)、SEMI S8(人体工学标准)、CE认证标准、ISO 9001质量管理体系标准、ISO 14644-1洁净室标准(适用于设备设计)。

质量标准：设备验收时需达到合同约定的工艺性能指标，包括溅射速率、膜厚均匀性、颗粒控制、重复性等。提供工厂验收测试(FAT)和现场验收测试(SAT)报告。

安装要求：供应商负责设备运输、就位、安装、连接和调试。安装环境为ISO Class 5级洁净室，供应商需提供详细的安装条件说明(包括电源、冷却水、气体、排气等要求)。

调试要求：供应商需派遣经验丰富的工程师现场完成设备调试，确保系统达到技术规范要求。调试完成后提供完整的调试报告。

质保期：自最终验收合格之日起至少12个月，质保期内免费提供非人为损坏的零部件更换和维修服务。

备件要求：提供推荐备件清单及备件供应承诺，确保关键部件在质保期后至少5年内可供货。

设备运行要求：支持24/7连续运行模式，平均故障间隔时间(MTBF)不低于1000小时，平均修复时间(MTTR)不超过48小时。

产品认证要求：提供欧盟CE认证证书，符合欧盟低压指令和电磁兼容指令要求。

环保标准：符合RoHS指令(有害物质限制)要求，提供材料成分声明。

安全标准：配备完整的安全联锁系统，包括紧急停止按钮、腔体压力互锁、门开关、辐射防护等，符合SEMI S2安全标准。

测试验收标准：

工厂验收测试(FAT)在供应商工厂进行，验证基本功能和性能指标。

现场验收测试(SAT)在VTT Micronova洁净室进行，验证实际工艺能力。

验收标准包括：本底真空度、溅射速率、膜厚均匀性、颗粒数、重复性等。

提供完整的测试方法和验收协议。

双方共同确认验收报告后方可签署最终验收文件。

系统兼容性要求：设备控制系统需兼容VTT现有工厂自动化系统，支持SECS/GEM通信协议，便于后续集成到MES系统中。

技术文档提交要求：提交完整的英文技术文档，包括但不限于：操作手册、维护手册、电路图、气路图、软件用户手册、备件清单、校准证书、测试报告等。

培训服务要求：

提供至少3人、不少于5个工作日的现场操作培训。

提供至少2人、不少于3个工作日的维护培训。

培训内容包括：设备操作、工艺编程、日常维护、故障诊断、安全规程等。

提供完整的培训教材。

服务范围：

设备运输及保险。

现场安装及调试。

操作及维护培训。

12个月质保服务。

远程技术支持。

软件升级服务。

预防性维护服务(可选)。

备件供应保障。

工艺开发支持(可选)。

设备搬迁支持(如有需要)。

实施周期：12个月(自合同生效之日起计算)

合同信息：合同类型为物资采购合同;合同期限为12个月;预算金额文件未明确;资金来源为欧盟资金。

投标要求：

投标语言为英语。

正式招标发布后通过指定平台提交。

允许提交多个投标。

正式招标发布后投标期至少为15天。

无需在本次预公告阶段提交标书或表达参与意向，但建议关注正式招标发布。

时间节点：

预公告发布时间为2026年3月13日。

参与意向表达截止时间为2026年3月31日21:00(西欧时间，UTC+00:00)。

正式招标文件预计于2026年春季发布，但未承诺具体日期。

正式招标发布后投标截止时间至少为15天。