德国弗劳恩霍夫协会全自动晶圆电化学金属镀膜工具采购招标

一、基础要点

招标类型：供应。

项目名称：全自动晶圆电化学金属镀膜工具(IZM-140)。

采购方式：竞争性谈判。

CPV代码：31712100 微电子机械和装置。

项目描述：用于在晶圆基底上电化学沉积不同金属层的全自动工具，专注于高深宽比凸块、重分布层(RDL)和铜填充高深宽比硅通孔(TSV)。

二、技术要求

技术规范：工具必须全自动运行以下步骤：从FOUP卸载指定晶圆、运行湿法工艺、将晶圆放回原始位置的FOUP。

技术参数：支持200mm和300mm晶圆，厚度达2mm；处理硅和/或玻璃晶圆；电镀和填充更高深宽比和更大体积；所需金属：Cu、Ni、SnAg、Au和可选In。

可选功能：薄晶圆厚度范围、机器准备翻转、机器人边缘夹持器、化学预清洁和预湿、在线检查和清洁密封环接触、铟图案电镀、单晶圆喷涂工艺、两个容量至少10升的预清洁化学品槽、回收模式、溢流保护、去离子水纯化、N2干燥、单晶圆处理、电解液槽体积约50升、N2冲洗、槽加热/冷却20°C至60°C ±2°C、槽和腔室溢流保护、在线过滤器外壳、直流电源/步进可调安培分辨率/高达50安培、接触环使用寿命>20,000晶圆/2mm密封位置、去离子水冲洗、惰性阳极、边缘珠去除可调范围2mm至5mm。

三、物资明细

物资名称：全自动晶圆电化学金属镀膜工具(IZM-140)。

数量：1套。

型号：IZM-140。

四、实施条件

交货周期：60天。

五、合同信息

是否允许分包：允许，但分包商必须命名并证明其适用性，且需确认其可用性并说明在合同对象中的份额。

六、投标要求

投标语言：德语。

投标方式：允许电子提交。

最低营业额要求：过去三个财年的营业额。

企业资质要求：至少10个类似设备的参考项目，不超过五年；公司简介需包含成立年份、重要里程碑、员工数量、制造/服务内容。

企业注册要求：自声明关于排除理由（德国反限制竞争法第123和124条）和欧盟法规第833/2014号。

七、时间节点

招标公告发布时间：2026年3月18日。

参与请求截止时间：2026年4月20日08:00:00。

预计发出投标邀请日期：2026年5月11日。