荷兰应用科学研究组织TNO非图案化缺陷检测系统采购招标

一、基础要点

招标类型：采购招标。

项目名称：非图案化缺陷检测系统(TNO38)。

采购方式：公开招标。

合同类型：供应合同。

项目描述：供应一台非图案化缺陷检测系统，适用于检测6英寸晶圆上的颗粒和其他类型缺陷，用于生产环境。

CPV代码：42000000 工业机械；38000000 实验室、光学和精密设备（不含眼镜）。

二、物资明细

物资名称：非图案化缺陷检测系统。

数量：1台。

单位：台。

产品用途：检测6英寸晶圆上的颗粒和其他类型缺陷。

颗粒检测功能：能够检测6英寸晶圆表面的颗粒污染物，包括微小颗粒的尺寸、数量和位置分布，支持对颗粒尺寸进行分类统计。

其他缺陷检测功能：除颗粒外，还应具备检测划痕、凹坑、凸起、微粗糙度（haze）等表面缺陷的能力，能够区分不同类型的缺陷特征。

缺陷分类能力：系统应内置或可选配实时缺陷分类功能，能够根据预设规则自动对检测到的缺陷进行分类识别，减少人工复检工作量。

数据输出与记录功能：系统应能够生成缺陷分布图，支持KLARF等标准格式的缺陷数据文件输出，便于与生产执行系统或其他数据分析系统对接。

自动上下料功能：系统应配置晶圆自动传输装置，能够兼容标准开放式晶圆盒，支持自动取片、预对准和检测后归位，减少人工干预。

选项：可选第二台非图案化缺陷检测系统；可选24个月质保期后的维护合同及续期；可选消耗品；可选与系统直接相关的升级选项。

三、合同信息

合同金额：600,000欧元（不含增值税）。

合同期限：24个月。

付款方式：电子发票必需。

四、投标要求

投标语言：荷兰语。

投标方式：电子提交。

投标有效期：4个月。

五、评标规则

评标方式：价格评分。

评分标准：价格权重100分。

六、时间节点

答疑截止时间：2026年4月6日12:00（UTC+02:00）。

投标截止时间：2026年5月1日12:00（UTC+02:00）。

开标时间：2026年5月1日12:00（UTC+02:00）。