该设备专门为芯片制造工艺提供清洁和表面活化。它包括多个上/下料系统，使用户能够快速、方便地安装/卸载五个料盒并同时处理五组芯片。清洗开始后五组芯片将由夹具同时从料盒中取出，送入反应仓进行处理，清洗完成后夹具将芯片送回到其原来......该设备专门为芯片制造工艺提供清洁和表面活化。它包括多个上/下料系统，使用户能够快速、方便地安装/卸载五个料盒并同时处理五组芯片。清洗开始后五组芯片将由夹具同时从料盒中取出，送入反应仓进行处理，清洗完成后夹具将芯片送回到其原来料盒的原来位置。