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PECVD等离子增强化学气相淀积设备

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青岛育豪微电子设备有限公司

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设备主要特点 ◆用工业微机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制. ◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高. ◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件,阀门,确保气路气密性.

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