等离子刻蚀机

用于单晶硅太阳电池、多晶硅太阳电池及微晶硅太阳电池制造工艺中，对硅片周边扩散生成的掺杂硅膜层、化学气相淀积生成的氮化硅膜层进行周边刻蚀。