旋转交换工作台(ATF 型)：最紧凑的方案。两个工作台放置在一个能够在0- 180°范围内旋转的基座上。工作台直径可以达到2000mm(78.7 in)。 - 平移式交换工作台： 基础型提供一套2个交换工作台的交换系统，该系统允许增加交换工作台的数量...