X、Y轴采用滚柱式线性导轨，具有高刚性，低噪性，可做快速位移及获得最佳循环精度。所有成品均经过激光定位补正及循园测试，以确保最佳定位精度及伺服特性，且机台出货前经严格的检验措施，确保机台的各项精度长期稳定。