三轴采用高精密滚珠螺杆，结合精密螺帽预压和尾端预拉装置，确保机台背隙与热变形长时间保持在低值。X、Y轴采用滚珠式线性导轨，具有高刚性，低噪性，可做快速位移及获得循环精度，快速移动速度为484848m/min。