罗茨-水喷射真空机组

LCSP型罗茨水喷射真空机组是由罗茨泵（又称机械增压泵）为主泵（包括中间泵，该泵有防腐和不防腐两种，防腐型在是经过喷涂处理后, 达到了很好的防腐效果），水喷射泵为前级泵组成。用全塑卧式水喷射真空机组作为前级泵，可抽腐蚀性气体，一......LCSP型罗茨水喷射真空机组是由罗茨泵（又称机械增压泵）为主泵（包括中间泵，该泵有防腐和不防腐两种，防腐型在是经过喷涂处理后, 达到了很好的防腐效果），水喷射泵为前级泵组成。用全塑卧式水喷射真空机组作为前级泵，可抽腐蚀性气体，一级罗茨泵极限真空可达150Pa，二级罗茨泵极限真空可达25Pa。