无油干泵真空机组是由无油爪泵和罗茨真空泵串联而成，结合了两种泵的优点，结构紧凑，运行可靠，可以长时间获得稳定真空。能完全适应富含可凝性气体和粉尘的环境，同时能获得较高的抽速。