中国半导体制造产业:倍加福PXV视觉定位系统提升AMHS天车精度
2026-03-20 10:42
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在半导体制造领域,高精度和高效率是提升芯片性能与产能的关键。智能传感技术作为工业自动化的重要支撑,正深度融入生产全流程,为关键环节提供精准感知与控制。

半导体制造工厂的自动物料搬运系统(AMHS)是晶圆制造的生命线,其稳定性和效率直接影响整体产线运行。作为AMHS的核心单元,OHT天车需要在高速移动中实现准确定位,技术正从传统的条形码向二维码演进。
早期自动化中,条形码因成本低而广泛应用,但在半导体高精度场景下存在容错性差、易污损等短板。如今,基于二维码的视觉定位技术成为新趋势。倍加福PXV视觉定位系统采用DM位置码带,具备强大冗余纠错能力,即便码标受损也能稳定解码,有效避免误读,提升定位可靠性。
针对OHT小车对定位稳定、低延迟和高冗余的严苛要求,倍加福PXV系统提供了成熟方案。其视觉读码头搭载高性能CMOS全局图像传感器,可在高速运动中清晰捕捉图像,单次成像可识别多个DM码,多重冗余设计增强系统稳定性。系统实时输出读码质量状态,实现运行监控与追溯,定位不中断。
在半导体制造工厂中,微小误差可能影响产品良率。倍加福PXV系统适配严苛工况,定位最小误差为±0.1mm,最小分辨率0.1mm,数据更新周期最快10ms。系统标准安装距离100mm,提供±50mm景深范围,并能抵抗高达100,000 Lux的环境光线干扰。
倍加福PXV系统支持多种工业总线与接口,可无缝接入各类控制系统。DM位置码带最长可达100公里,满足现有晶圆厂需求并为未来扩容预留空间。该系统基于视觉定位,无接触无磨损,确保长时间稳定运行,DM码的冗余特性提升读码稳定性,定位精度高且分辨率可调,具备常见电气接口协议,产品线丰富,机械与外观设计优化人机交互体验。
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