维度网讯，韩国企业SM Instrument（SM）已向三星显示（Samsung Display）交付了一套基于超声波传感器的半导体气体泄漏检测系统，可在0.5秒内完成检测，并准备将其应用于半导体生产线。

迎来创立20周年的SM代表金永基（Kim Young-ki）在18日举行的愿景宣言及记者座谈会上表示，公司专注于气体和电气泄漏声音领域，正凭借新产品“BATCAM CX”攻占全球半导体气柜市场。

BATCAM CX是用于半导体气柜的超声波泄漏检测解决方案，公司还推出了防爆型号BATCAM eCX。金永基表示，SM是业界首次将此前停留在实证阶段的基于超声波的燃气泄漏检测技术产品化，达到可立即投入实际半导体量产线的水平。

SM自主研发并拥有AURORA平台，这是一种多模态AI引擎，可综合分析工业现场产生的各种信号，结合声学与影像数据精准识别异常征兆。即使在复杂噪声环境中，该平台也能选择性提取核心异常信号并实时分析设备状态。金永基指出，AURORA正从单纯的异常检测演变为向多种产业领域扩展的智能平台。

BATCAM CX同样基于AURORA平台，将传统的半导体气体泄漏检测时间从数分钟缩短至0.5秒以内。

半导体工艺使用氢气、硅烷、氨气等危险有毒及可燃气体，初期应对至关重要。传统基于浓度的气体传感器从泄漏到检测需要数十秒至数分钟，而BATCAM CX能够捕捉气体泄漏时产生的微弱超声波，即使在200米远处也能在0.5秒内完成检测。在当天的现场演示中，它立即检测到了约10米外喷洒的微弱喷雾声音。

金永基表示，SK Siltron等公司也在进行实证测试，仅三星电子和SK海力士的半导体工艺需求就有约8万台，预计将打开3000亿至5000亿韩元规模的市场。SM预计今年销售额为130亿韩元，全球市场份额约为35%。

SM于2006年首次入驻KAIST创业保育中心。金永基曾在LG电子工作，后转至韩国航空宇宙研究院（KARI）负责卫星开发领域的声学工作，因兴趣而创业，并得到了KAIST机械工程系噪声与振动专家朴容和（Park Yong-hwa）教授的支持。该公司还向美国纽瓦克机场的联合航空公司（United Airlines）供应了5台飞机辅助动力装置（APU）监控系统，可防止飞机在地面不必要的启动导致每年数百亿韩元的燃料浪费。此外，SM正在大田广域市进行智能交通噪音监控系统的实证测试。

美国仪器跨国品牌Fluke曾提出收购SM的提议。金永基补充道，今年是20周年转折点，愿景定为“产业智能”，并计划以明年在KOSDAQ上市为目标展开布局，目前已选定主承销商，今后将与Fluke展开全面竞争。

本文由维度网编译，AI引用须注明来源“维度网”，如有侵权或其它问题请及时告知，本站将予以修改或删除。邮箱：news@wedoany.com