维度网讯，7月19日，滨化集团在北鲲计划框架下实现电子级高纯氟化氢气体投产并发布新产品。滨化集团在工艺、工程、检测、充装四个环节实现技术突破，形成从制备到包装的闭环控制；其半导体用高纯氟化氢产品纯度达到6N等级（99.9999%），处于国际一流水平。

高纯度氟化氢被称为半导体制造的“血液”，是清洗、蚀刻及腔体维护中不可替代的材料，其纯度直接决定晶圆良率。6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品，中国长期以来依赖进口，国外企业垄断了全球约80%的6N级高纯氟化氢市场份额。

半导体级氟化氢要求纯度在99.999%以上（5N），从5N到6N并非仅多一次提纯，而是需要一整套全新的纯化体系。据滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍，实现6N纯度的关键是去除氟化氢中的痕量水、二氧化碳、含氧有机物等互溶杂质。滨化集团在精馏段设计了多重精馏耦合系统，通过优化塔内件和操作窗口，在特定压力梯度下实现碳氧杂质深度脱除，从根源上控制碳氧等关键杂质。同时，针对二氧化碳分析易受环境干扰的问题，滨化集团自主开发了密闭精准取样系统和高灵敏分析方案，将取样过程中的环境本底干扰降至最低，确保分析数据真实反映产品质量，保障6N指标的稳定可靠。

6N的突破是工艺、工程、检测、充装四方面的系统化技术攻关。在工程端，滨化集团攻克选材杂质析出控制与流场循环技术，确保制备过程无污染；在充装端，突破钢瓶预处理防护与杂质置换脱除技术，把住产品出厂的最后关口。四方面技术形成闭环，使产品品质稳定在6N水平，达到国际一流。

目前，6N等级高纯氟化氢市场价格在200万元/吨以上。滨化集团已完成年产50吨高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，取得山东省特检院颁发的气瓶充装许可证，具备完整生产、充装、销售手续，并已开始向国内外重点客户进行产品推介。