Tokuyama越南半导体多晶硅工厂落成

Tokuyama旗下TOKUYAMA VIETNAM在胡志明市富美3号专业工业园举行半导体级多晶硅工厂开所仪式。工厂占地约5万平方米，总投资超过6000万美元，设计最高年处理能力约4955吨。

该工厂主要承担半导体级多晶硅生产的后段工序，包括将多晶硅棒破碎为适合晶圆企业熔炉使用的小尺寸材料，并完成清洗、质量检测及产品销售。工厂开所后将进行试运行和质量确认，商业生产计划于2027年开始。

TOKUYAMA VIETNAM成立于2024年8月8日，由Tokuyama全资持有，注册资本为5800亿越南盾。Tokuyama称，该公司是越南首家从事半导体级多晶硅制造和销售的企业。项目2023年筹划时预计投资约3000万美元，随着工厂建设和设备配置推进，开所时公布的投资规模已增至6000万美元以上。

越南工厂不承担从原料开始的完整多晶硅合成流程，而是集中处理高纯多晶硅的破碎、清洗和检测环节。部分加工需要人工操作，以降低机械破碎可能带来的金属污染，并根据晶圆客户要求调整产品尺寸。

Tokuyama还与OCI在马来西亚建设年产1万吨半导体级多晶硅半成品工厂。按照其区域生产安排，马来西亚基地承担多晶硅合成及沉积等前段生产，越南基地负责后段加工和质量控制，两地产品共同供应半导体晶圆制造企业。