英国感应耦合等离子刻蚀机供应和安装招标公告

通知类型	事先信息通知
投标类型	其他
公告号	104830519
最后期限	2026-03-11
描述	标题：感应耦合等离子刻蚀机供应和安装参考号：UOS-36338-2025 主要 CPV 代码：38000000 合同类型：供应简短描述：寻求感应耦合等离子刻蚀机，用于加工半导体材料，例如（但不限于）氮化镓和硅。理想系统将部署于学术研究，并位于洁净室微加工设施内。执行地点：斯特拉斯克莱德大学采购描述：光子学研究所希望用感应耦合等离子刻蚀机来补充其洁净室微加工设施设备。该系统将用于加工通常（但不限于）氮化镓 (GaN) 和硅 (Si) 被动和主动器件。该系统将用于学术研究。其目的是为现有资产带来额外的功能。寻求的系统旨在提供氯化和氟化等离子刻蚀的能力。氯基 GaN 的刻蚀速率应为数百纳米每分钟（约 500 nm/min）。应保证对典型掩模材料（如光刻胶和二氧化硅 (SiO2)）的选择性。应提供氟化基等离子体在硅的深反应离子刻蚀 (DRIE) 模式下执行 Bosch 工艺的功能。该系统应允许加载锁处理和单个 4 英寸晶圆的加工。额外信息：大学发布此 PIN 是为了初步进行市场调研和参与。大学可能会与对此次机会表示兴趣的供应商进行进一步的市场参与。
文件	英国感应耦合等离子刻蚀机供应和安装.pdf (190.56 K)