已过期 德国波茨坦大学等离子蚀刻设备废气净化系统采购招标

招标编号: 4.B.WGCH2025027_F

招标名称: 废气净化系统 

招标类型: 公开招标

招标依据: 公共采购和合同条例

招标内容: 为现有等离子蚀刻设备采购废气净化系统。

系统组成: 化学吸附式干式床吸收塔（用于等离子蚀刻过程中的废气，包括 CF4、SF6 和氧气及其反应气体）、保护外壳、颜色指示器（用于检查吸收器的性能和显示气体穿透）

履约地点: 主要履约地点：弗劳恩霍夫协会应用聚合物研究所

评标方法: 最低价法 

招标文件获取方式: 电子方式，通过“勃兰登堡州招标平台”

招标文件获取地址: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXUCYYDYTBZ2ZUU0/documents

投标方式: 电子方式，通过“勃兰登堡州招标平台”

投标地址: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXUCYYDYTBZ2ZUU0

是否接受分包: 不接受分包

是否接受联合体投标: 文件中未提及

投标保证金: 参见招标文件

付款条件: 参见招标文件