日本东京大学制备1纳米半导体纳米管为微型电子器件提供新路径
2026-06-06 10:03
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6月5日,日本东京大学领导的研究团队成功制备出直径仅1纳米的单壁二硫化钼半导体纳米管,尺寸约为人类发丝的十万分之一。该成果已发表于《Science》,被认为是迄今全球最小的半导体纳米管之一,为超小型半导体沟道、下一代微型电子器件和纳米尺度材料研究提供了新的实验路径。

这项成果的核心突破在于,研究团队没有沿用传统纳米管制备路线,而是把氮化硼纳米管作为外部“模板”和保护结构,在其内部极其狭窄的空间中引入化学反应,使二硫化钼能够在受限环境下形成单壁纳米管。二硫化钼本身是一类重要的二维半导体材料,在晶体管、传感器、光电子器件和低维材料研究中长期受到关注,但要将其稳定制备成直径仅1纳米、原子结构清晰且高度均一的管状结构,难度远高于普通薄膜或较大直径纳米管。研究团队利用氮化硼纳米管的空间约束作用,让原本不易稳定成形的超细二硫化钼纳米管在内部生长,并通过先进电子显微成像和化学分析确认其结构特征。氮化硼本身具有良好的绝缘特性,二硫化钼纳米管位于其内部后,形成了半导体纳米管被绝缘纳米管包覆的同轴结构,这一结构与环绕栅晶体管等先进器件架构存在潜在关联。对于未来更小尺寸晶体管而言,半导体沟道不仅要足够细,还必须在原子层级保持结构稳定和性能一致;如果材料内部出现微小缺陷或结构差异,电学性质就可能发生明显波动,最终影响器件可靠性。

直径1纳米,是这项研究最直观也最关键的数字。

研究还验证了一个持续约25年的理论预测:随着二硫化钼纳米管直径减小,其带隙会随之降低。带隙决定材料作为半导体时的电子行为,是判断材料能否用于电子器件的重要参数之一。过去,理论模型已经提示超细二硫化钼纳米管可能出现不同于较大结构的电子特性,但受限于制备能力,实验层面一直难以获得足够小、足够均一、原子结构足够清楚的样品。此次研究把直径压缩到1纳米尺度,同时保持单壁结构和明确原子排列,使相关理论终于有了更直接的实验验证。与碳纳米管相比,二硫化钼纳米管的潜在优势在于结构和半导体属性控制。碳纳米管虽然长期被视为微型电子器件的重要候选材料,但其电学性质对手性和结构差异高度敏感,微小变化就可能导致材料呈现金属性或半导体性,给大规模一致性制造带来挑战。二硫化钼纳米管如果能够在尺寸、原子排列和半导体特性上实现更稳定控制,就可能为构建一致性更高的超小沟道器件提供新选择。现有硅基半导体技术在继续微缩过程中,也面临刻蚀精度、界面缺陷、短沟道效应和材料损伤等限制,纳米尺度半导体管状结构因此成为探索后硅时代器件形态的重要方向之一。

这项研究距离真正进入产业应用仍有明显距离。当前制备出的二硫化钼纳米管长度只有数百纳米,距离器件制造和规模集成所需的长度、一致性、定位控制和电极连接能力仍有差距。研究团队下一步计划把纳米管长度提高到约1微米,并继续探索这一受限空间合成方法能否扩展到其他无机纳米管材料,包括磁性材料和超导材料。若该方法具备可复制性,它的意义将不局限于单一二硫化钼材料,而是可能发展为一种面向原子级精确无机纳米管的通用制备平台。对于半导体产业而言,真正重要的是能否把材料发现转化为可制造、可连接、可测试、可稳定运行的器件结构;对于基础科学而言,这项成果已经证明,受限空间化学反应能够帮助研究人员进入过去难以触及的超细纳米管尺度,并观察直径变化对电子结构带来的直接影响。未来,微型电子器件、高分辨率传感、量子尺度物理研究和新型低维半导体材料开发,都可能从这类原子级可控纳米结构中获得新的设计空间。

从科技创新角度看,日本东京大学团队的突破提供了一条不同于传统硅加工和碳纳米管路线的材料方案。1纳米二硫化钼半导体纳米管的出现,说明微型电子器件的前沿竞争正在继续向原子级结构控制延伸。谁能更稳定地控制材料尺寸、界面结构和电子性质,谁就更有可能在未来超小晶体管、纳米传感器和新型功能器件中获得技术主动权。

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