EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动，并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现最小驱动单位10纳米，并维持稳定的超精密加工。
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