2XZ双级旋片式真空泵

2XZ型旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片式真空泵（以下简称泵）。它有偏心地装在泵腔内的转子，及转子槽内的旋片。转子带动旋转时，旋片紧贴腔壁，把进、排气口分隔开来，并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小...... 2XZ型旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片式真空泵（以下简称泵）。它有偏心地装在泵腔内的转子，及转子槽内的旋片。转子带动旋转时，旋片紧贴腔壁，把进、排气口分隔开来，并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，推开排气阀排气，从而获得真空。图一为单级泵的工作原理示意图。双级是两个单级串联而成。