维度网讯，韩国新星ENG（Shinsung E&G）自研的半导体设备除湿模块“EDM（Equipment Dehumidify Module）”累计出货量突破100台，从首次交付到达成这一里程碑仅用时约2年。该模块自2023年完成自主研发，并于次年3月首次出货。

EDM是一款将颗粒过滤（微细颗粒物去除）和除湿功能集成于单一模块的设备，在半导体及干燥房等制造工艺中被视为必备装置。通过使用高性能转子，该模块可将相对湿度精确控制在5%RH水平，并借助实时湿度传感器和自动控制系统，在工艺过程中维持稳定的除湿环境。其超小型尺寸设计也便于安装在生产线内部。

EDM的开发源于客户改善良率的需求。在半导体工艺中，湿度是直接影响良率的关键变量，即使是微小波动也可能导致不良率上升。新星ENG（Shinsung E&G）凭借自身技术着手开发除湿模块，于2023年完成研制并同步建立量产体系。

目前，EDM已供应给韩国国内主要半导体设备和材料企业。新星ENG（Shinsung E&G）计划以本次出货100台为契机，扩大供应范围，并加速后续技术升级。新星ENG（Shinsung E&G）洁净环境研究室室长金东权表示，从第一代产品开始，公司已完成第二代超薄模块型产品的开发并已应用于现场，第三代超小型EDM的开发计划于今年内完成。未来计划将EDM的应用范围从半导体工艺设备扩展到更多产业领域。

新星ENG（Shinsung E&G）成立于1977年，是一家专注于洁净室及能源解决方案的企业，提供从半导体、显示器等尖端产业的生产环境构建到可再生能源业务的全面解决方案。该公司为KOSPI上市公司，年销售额约5700亿韩元。