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为维持真空室内面向等离子体的部件运行状态,IRFM团队与Netalux、Décapage Solutions公司采用高精度激光清洗解决方案,成功解决了等离子体与真空室相互作用产生的杂质沉积问题。经过一年多的测试与验证,最终选定了一种紧...