中国科学院航天信息研究所邹旭东教授带领的研究团队，针对微机电系统(MEMS)谐振加速度计长期面临的温度漂移和测量盲区两大难题，提出了一种创新性的双模工作方案。该方案通过有效解耦器件差分光束的工作频率，显著提高了传感器的精度和性能，研究成果已发表于《微系统与纳米工程》杂志。

研究显示，当两个光束分别工作在第一和第二谐振模式时，不仅增强了温度补偿效果，还减轻了模式局域化效应，这一效应通常是导致测量盲区的主要原因。双模设计还保持了光束的几何对称性，这对于减少温度引起的误差、维持传感器性能的稳定性至关重要。实验数据进一步证实了该方案的有效性，与传统方法相比，双模方法可将温度引起的漂移降低280倍以上，具体数值上，温度漂移从约342 mg大幅降至1.19 mg。同时，艾伦偏差和功率谱密度(PSD)分析显示，低频噪声显著降低，提升了加速度计的精度和长期稳定性。此外，该设计还解决了波束工作频率相交时的盲区问题，消除了两个差分波束之间的频率重叠。

邹旭东教授团队强调，这种双模技术为提升MEMS加速度计性能提供了一种经济高效的途径，使其在惯性导航和振动监测等应用领域展现出更大的价值。

更多信息： Bingchen Zhu 等人，《基于双模操作方法的差分 MEMS 谐振加速度计的温度漂移抑制和测量死区消除》，《微系统与纳米工程》 (2025)。期刊信息： 微系统与纳米工程