双横梁支撑的滑鞍，彻底消除了悬臂梁支撑形式所产生的弹性误差，保证了Y轴拖动系统快速及稳态响应特性。Z轴采用液压平衡机构，使其具有良好的阻尼特性。 X1、X2轴是由两个大惯量交流伺服电机与大导程滚珠丝杠、低位移阻尼的直线滚动导轨等...... 双横梁支撑的滑鞍，彻底消除了悬臂梁支撑形式所产生的弹性误差，保证了Y轴拖动系统快速及稳态响应特性。Z轴采用液压平衡机构，使其具有良好的阻尼特性。 X1、X2轴是由两个大惯量交流伺服电机与大导程滚珠丝杠、低位移阻尼的直线滚动导轨等组成的拖动系统，具有良好的定位精度与稳态响应特性。 C轴为±200度回转轴，采用力矩电机直接驱动。