维度网讯，“我们的开发是一项基础技术，对未来产业至关重要。”epiray有限公司首席执行官Wolfgang Braun这样描述其商业理念。这家衍生公司正在德国斯图加特马克斯·普朗克固体研究所将一项新颖概念商业化：热激光外延（TLE）。这是一种高纯度薄膜沉积技术，尤其对微电子学意义重大，是德国高科技议程的关键技术之一。与传统的热外延方法不同，TLE热激光外延使用高性能激光加热源材料和基板，激光束可产生任意能量密度，实现高温，从而蒸发元素周期表中所有元素。该技术能逐层形成异质结构，创造全新材料，且设备紧凑。

得益于激光技术发展，薄膜技术开辟了新领域。TLE热激光外延除了高温优势，还能制造超高纯度材料，这些材料在半导体器件、光学涂层或量子计算中不可或缺。“与传统外延方法相比，我们的TLE可达到高达2,800°C的温度，激光精确加热材料，不加热环境，”epiray首席技术官兼联合创始人Hans Boschker解释。这使公司获得竞争优势，因为技术无污染，这一卖点目前独一无二。

epiray在内卡河畔韦尔瑙制造和销售TLE热激光外延系统。公司于2021年从马克斯·普朗克固体量子电子学部门衍生，最初三名研究人员，现增至七人，并成立了美国子公司。目前他们正扩大英国和中国的销售渠道。这一发展得益于马克斯·普朗克学会和斯图加特固体研究所提供的支持。“我们计划继续扩张，正在设计用于工业生产的TLE热激光外延薄膜制造设备，”Braun说。从基础研究到工业应用的道路已为epiray铺平。

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