日本东京电子与英伟达扩大合作推进晶圆厂AI自动化

维度网讯，日本东京电子（TEL）与英伟达（NVIDIA）扩大合作，推进半导体晶圆厂（Fab）自动化和设备维护智能化，目标是通过构建自主化设备运营体系提升客户生产率和良率。

东京电子7月20日宣布，为加强“智能代理型AI（Agentic AI）”及机器人技术解决方案的开发，将与英伟达全面扩大合作。后者是人工智能（AI）半导体领域的领军企业。

通过此次合作，东京电子将把英伟达的尖端软件技术融入其核心数字化转型（DX）解决方案概念“Epsira™”。具体引入的技术包括由英伟达NeMo、NIM、NemoClaw蓝图等构成的“英伟达智能代理工具包”，以及开放式机器人开发平台“英伟达Isaac（NVIDIA Isaac）”。

东京电子将以英伟达Isaac平台为基础，构建与实时计算平台“英伟达Omniverse（NVIDIA Omniverse）”库联动的3D数字孪生环境。设备设计数据将被移植至该环境，在虚拟空间中快速执行精密模拟。

半导体制造设备结构复杂，机器人维护需根据设备配置精确进行。基于虚拟模拟的数字孪生技术可在不对实际设备造成损害的情况下，在短时间内显著提升机器人工作学习的速度和精度。此外，通过智能代理专用平台NeMo和NemoClaw，AI模型的学习、调优和评估速度可获大幅提升，并建立安全部署和运营于实际现场的基础，从而最大化设备稼动率。

东京电子的Epsira是一种基于数据利用提高客户半导体制造生产率的数字化转型基础设施。该方案搭载了基于AI的湿法清洗周期延长（MTBWC）分析、机器人维护、AI问题解决分析等技术，可最大限度减少定期维护及意外停机时间，即使是不熟练的操作人员也能轻松实现最佳运行环境。

东京电子企业开发部门副总裁松岛庆一表示，与引领AI时代的英伟达深化合作伙伴关系意义重大，以此为基础，东京电子将持续提升机器人维护和AI故障分析能力，为客户生产率的最大化做出贡献。

英伟达机器人及边缘AI生态系统高级总监阿米特·戈尔表示，半导体制造正迎来自动化的新转折点，机器人技术是提升先进晶圆厂稼动率和韧性的关键轴心。东京电子正利用英伟达的智能代理型和物理AI框架，使晶圆厂运营更加智能化。