光谱共焦传感器是一种高精度、非接触式的测量设备,广泛用于厚度和表面形貌检测,在精密制造领域应用普遍。但这类传感器长期存在技术壁垒和供应链集中问题。国际主流厂商虽具备先发优势,其技术和服务多针对标准化场景,难以适应中国精密制造业对定制化的快速需求。

埃科光电凭借技术积累和研发能力,自主研发出3D线光谱共焦传感器SG系列,旨在匹配半导体、消费电子等行业的多样化需求,支持中国精密制造业提升产线水平。
3D线光谱共焦传感器基于同轴式光谱共聚焦技术,扫描速度高达30KHz,最大测量视野10.2mm,X方向分辨率达1.9微米,Z方向重复精度50纳米,具备高精度、高速度和在线检测等特点。其成像原理涉及宽光谱线光源发出复色光,通过色散透镜聚焦不同颜色光到轴上不同位置;反射光中只有聚焦在待测物表面的单色光能被光谱仪探测,通过测量波长计算距离,实现高度信息获取,结合高速扫描完成3D成像。
3D线光谱共焦传感器产品优势包括:超高精度,轮廓线点数最高4096个,X方向分辨率1.9微米,Z方向重复精度50纳米,适用于亚微米级复杂表面检测;极速响应,最高扫描速率30kHz,SG1007在最大测量范围仍达8.9kHz,适合高速生产线;超大视野,SG4025提供10.2mm测量视野和2.5mm Z轴范围,兼容角度±50°,能处理镜面、曲面和透明材料等多种表面。
埃科线光谱共焦传感器SG系列对材质、形状和反光不敏感,适应深孔、缝隙、弯曲和透明等表面测量,保持全量程高精度和高横向分辨率,适用于半导体、消费电子、PCB和动力电池等精密制造领域。









