半导体中的原子邻域为微电子设计提供了新途径
2025-10-10 17:26
来源:劳伦斯伯克利国家实验室
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由劳伦斯伯克利国家实验室与乔治华盛顿大学共同领导的研究团队,在《科学》杂志发表新研究,证实半导体中的原子会以独特局部模式排列,即短程有序(SRO),这一发现将改变材料的电子行为。

研究考察的半导体材料示意图,该材料由锗以及少量硅和锡组成。锗原子被描绘成灰色球体,硅被描绘成红色球体,锡被描绘成蓝色球体。

半导体通常由一种主要元素构成,并添加少量其他元素。这些微量添加剂虽不足以形成全局重复图案,但其局部排列方式一直未明。研究团队通过一种名为4D-STEM的电子显微镜技术,结合能量过滤装置,首次清晰观察到了含有少量锡和硅的锗样本中的原子排列模式。研究显示,这些原子并非随机分布,而是具有优先排序特性,形成了短程有序结构。论文第一作者莉莲·沃格尔表示,最初结果混乱,难以区分信号,但安装能量过滤装置后,重复模式逐渐显现。

为验证发现,研究团队使用预先训练的神经网络对衍射图像进行分类,识别出六个代表样品材料中特定原子排列的重复图案。随后,他们与乔治华盛顿大学的合作团队利用机器学习模型,对材料结构中的数百万个原子进行建模,成功模拟出与实验数据相匹配的原子结构。乔治华盛顿大学教授李天舒称:“建模和实验无缝协作,首次揭示了SRO结构模式。”

阿肯色大学和桑迪亚国家实验室的后续研究,已对这些短程有序结构如何影响半导体电子特性产生深刻见解。科学家们希望,通过操纵这种有序结构,能实现新型设备和处理路线。沃格尔表示:“通过在原子尺度上设计半导体,我们将突破当前能力界限,打开原子尺度信息技术新时代的大门。”

更多信息: Lilian M. Vogl 等人,《半导体短程有序基序的识别》,《科学》(2025)。期刊信息: 科学

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