电子零件用各种曝光装置

运用USHIO的光源・照明・光学・校正及搬运技术，实现高性能、高生产性、及低成本的电子零件用曝光装置。 具有适用于解析力3umL/S～20umL/S、及曝光区域φ100～300mm的各种类型（单面/双面、全部/部分等）。