高密度印刷电路基板用步进及重复投影曝光装置 「UX-5」

用无光罩损害之投影曝光、因应基板收缩增建，可实现多层类型高精确度重叠。 达成10μ线宽/线距，tact间曝光1.5秒能力的高密度印刷电路板用步进与重覆式曝光机。