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SUPER CONNECT用步进及重复曝光装置 UX-7

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与传统步进及接近曝光装置相较之下，可大幅减少二氧化碳，是最适合Super Connect范围设计规则（约10μmL/S）之步进及重复投影曝光方式的初步进机(Rough Stepper)。

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