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SUPER CONNECT用步进及重复曝光装置 UX-7

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牛尾贸易（上海）有限公司
中国
上海浦东新区陆家嘴环路1000号
TEL+86-21-6841-1135
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产品介绍
与传统步进及接近曝光装置相较之下，可大幅减少二氧化碳，是最适合Super Connect范围设计规则（约10μmL/S）之步进及重复投影曝光方式的初步进机(Rough Stepper)。
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