桥型工作台结构，刚性强度好，可有效降低主轴震动和温度变形量；工作台区域大，最大可用于12英寸器件的划切。 X轴采用交流伺服系统，运动速度高；Y轴/Z轴采用闭环控制，误差积累小，Y轴单步精度高，Z轴重复精度高。 具有非接触测高及刀体破......桥型工作台结构，刚性强度好，可有效降低主轴震动和温度变形量；工作台区域大，最大可用于12英寸器件的划切。 X轴采用交流伺服系统，运动速度高；Y轴/Z轴采用闭环控制，误差积累小，Y轴单步精度高，Z轴重复精度高。 具有非接触测高及刀体破损检测功能，可靠性高。 采用先进的CANOPEN总线分布式控制，传输距离远，具有自校验功能；抗干扰能力强、扩展性强。 运行工艺参数可根据用户需求自行调整。