采用In-feed 磨削原理设计，通过晶圆自旋转，磨轮高速旋转以及低速进给方式进行切入式磨削。 磨削主轴以及承片台主轴均采用空气静压轴承，设备的加工精度、可靠性更高。 采用粗磨精磨轨迹重合技术，提高设备磨削加工精度。 通过精密减薄，......采用In-feed 磨削原理设计，通过晶圆自旋转，磨轮高速旋转以及低速进给方式进行切入式磨削。 磨削主轴以及承片台主轴均采用空气静压轴承，设备的加工精度、可靠性更高。 采用粗磨精磨轨迹重合技术，提高设备磨削加工精度。 通过精密减薄，最小厚度可达100μm以下。 采用测量分辨率0.1μm、重复精度±0.5μm的在线测量仪为检测单元的全闭环系统，可精确控制减薄厚度，获得更高的安全性与可靠性。