维度网讯，美国马萨诸塞州什鲁斯伯里的精密运动控制和纳米定位系统企业Physik Instrumente（PI）推出F-572高性能3至6轴光子学对准系统，专用于光子学制造和测试中的高通量主动对准应用。

该光子学对准系统集成了精密测角仪、线性纳米定位台、磁力直接驱动技术、高分辨率光学编码器反馈以及预配置的基于ACS的对准控制器，可提供紧凑的工业级平台，适用于载重达2公斤的苛刻光子学应用，包括先进封装、LiDAR和多芯片级测试。Z轴配备用户可调磁力平衡器，可将电机电流和热量降至最低。

F-572在X、Y和Z轴上具有60mm的线性行程范围，三个具有共同枢轴点的精密测角仪提供高达17°的旋转范围。高速磁力直接驱动实现线性速度达500mm/s，测角仪支持角速度达10°/s。线性运动和角运动的最小增量运动分别为5nm和5µrad，双向重复性为150nm和25µrad。系统嵌入快速多通道对准（FMPA）程序，用于快速区域扫描和梯度搜索，以减少对准时间并提高制造吞吐量。

包含的对准控制器具有TCP/IP和EtherCAT接口、高级特定对准程序和用户友好软件。PI可选配超快PILightning算法，用于加速首次光搜索应用。该光子学对准系统的服务行业和应用包括先进封装、LiDAR、多芯片级测试、PIC对准、光纤对准、光子学测试与组装、光学元件组装、自动化光子晶圆测试和光子晶圆探测。

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