维度网讯，瓦克化学股份公司（Wacker Chemie AG）位于德国博格豪森工厂的半导体级多晶硅清洗线，完成全自动化改造后产能提升超过50%。该项目由SCIO Automation作为总承包商负责实施，2022年春季签约，2024年3月启动调试，同年9月进入测试阶段，于2025年正式投入运行。

受半导体行业需求增长驱动，瓦克化学需要一套兼具纯度、工艺可靠性和可扩展性的全自动化端到端解决方案。2022年5月合同授予后，SCIO多个部门协同作业：Warehouse Intrasolutions主导项目管理，SCI（Schiller Cleanroom Intralogistics）提供洁净室物流专业知识，来自慕尼黑和杜伊斯堡的团队负责机器人解决方案与技术文档支持。项目团队在数月内完成了整个设施的数字布局规划。

该设施包含一个用于小型料箱（SLC）的中央高架仓库，配备输送系统、工艺设备转移点处理装置及输入输出站。高架仓库拥有5位数存放位置、6个巷道（堆垛机）和双深位存储，长约30米，高度为宽度的两倍。输送技术部分涵盖超过500米的料箱输送技术与工艺托盘输送技术，8个机器人（包括盖子抓取器、托盘抓取器、排空抓取器）分布在2层，供应至5个接口，并设置5个防火门作为输送系统封闭装置。整个系统包括八个机器人工作单元和定制的不锈钢输送系统，以满足处理多晶硅时对最高精度和洁净度的要求。

数字孪生技术在项目实施中发挥了核心作用，它使团队能够全面测试所有IT与工厂组件的交互，并提前培训操作员，从而显著加快了后续实地调试进程。该项目对防止产品污染提出了极高要求。由于此前沉积的硅棒在破碎时难以完全避免外来原子的微量污染，因此破碎后的硅片需使用高浓度酸进行蚀刻，以确保表面清洁。瓦克为此提供了材料样品用于测试。得益于SCI此前在代号“雨伞项目”中安装超过50米长洁净室输送技术所积累的经验，团队对瓦克化学的具体要求有了深入掌握。整个系统以高精度实施，完整的输送系统，包括洁净室输送技术与专用料箱输送技术，均由单一来源提供。

SCIO内部的协同带来了进一步的里程碑：从本宁根（Benningen）的输送系统预组装，到奥斯特霍芬（Osterhofen）的工厂验收测试，再到2023年6月的虚拟调试，均高效推进。

瓦克化学股份公司是一家全球运营的特种化学产品生产企业，其半导体部门为国际半导体行业的重要供应商，提供超过3000种产品。该公司发起的研究和创新项目根据欧盟“欧洲共同利益重大项目”（IPCEI）微电子和通信技术计划，获得了高达4600万欧元的资助，资助方包括德国联邦经济事务和能源部（BMWE）、巴伐利亚州经济事务、区域发展和能源部以及欧盟。

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