韩国开发高纯度氘代氨实现国产化技术成熟度达7级

2026-06-12 11:05

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维度网讯，韩国能源技术研究院（Korea Institute of Energy Research）11日表示，其清洁燃料研究室责任研究员尹亨哲（Yoon Hyung-chul）团队成功开发出韩国首个高纯度氘代氨（ND₃）生产技术，技术成熟度（TRL）已完成7级以上（共9级）的产品生产实证。

氘代氨（ND₃）是半导体制造工艺中用于高集成DRAM及SONOS（硅-氧化膜-氮化膜-氧化膜-硅）闪存工艺的高附加值同位素材料。目前韩国国内无ND₃生产设施，大部分依赖海外进口。

研究团队应用自主研发的钌催化剂，成功实现日产7.7公斤规模的氘代氨生产，生产1公斤氘代氨耗电低于50kWh。该催化剂可将现有氘代氨合成方式所需压力降至五分之一水平，并改善温度条件，可合成纯度99%以上的高纯度氘代氨。团队还完成了1000小时以上连续运行验证，并获得韩国产业技术试验院（Korea Testing Laboratory）认证。生产出的氨中未检测出49种金属等杂质。

研究团队表示，这种氨可立即应用于半导体等离子工艺用特种气体、显示器及下一代电子元件用同位素材料、核磁共振（NMR）分析用试剂、同位素追踪研究及精密化学反应研究用材料、高附加值同位素特种气体生产平台等领域。

尹亨哲责任研究员表示，通过确保国内生产基地，可降低进口依赖，未来也有望进军全球特种气体市场；计划通过工艺优化和生产规模扩大，正式推进进入半导体、显示器、精细化工产业用同位素材料市场。