中国计量院建成首套高精度圆度基准装置，不确定度从20nm降至6nm

维度网讯，中国首套高精度圆度基准装置由中国计量科学研究院（National Institute of Metrology, China）研制完成并正式建成。

圆度是几何量形位公差体系中的核心基础参数，测量精度直接关系到精密主轴、先进光学元件、半导体芯片等高端制造产品的性能与装配质量。长期以来，中国虽已建立平面度等几何量计量基准，但圆度量值始终缺乏国家级溯源源头，成为制约高端装备自主可控和产业高质量发展的难题之一。

此次建成的圆度基准装置填补了这一空白，将为航空航天、高端机床、先进光学、半导体制造等战略产业提供高可靠、高精度的量值溯源支撑，完善了国家几何量计量体系，为制造强国、质量强国建设提供基础性技术保障。

在技术层面，该装置系统集成了多项自主创新技术，破解了高准确度圆度评定、主轴误差分离、滤波一致性控制等国际性技术瓶颈。装置提出了基于高准确度圆度滤波与全效数据利用的圆度计算模型，有效解决了标准半球分离后轮廓重构的稳定性难题。

中国自主研发的新型误差分离技术大幅抑制了主轴回转误差，将圆度测量不确定度从20纳米降至6纳米，测量能力达到国际先进水平。此次突破意味着中国已实现高准确度圆度测量核心关键技术的自主可控，打破了国外长期技术垄断。