意法半导体 (STMicroelectronics) 宣布，正与新加坡科技研究局 (A*STAR) 微电子研究所 (A*STAR IME) 和爱发科 (ULVAC) 合作，扩建其位于新加坡的“晶圆厂实验室”(LiF)。此次合作的重点是推进压电 MEMS 技术在个人电子产品、医疗设备和其他应用领域的应用。

该计划的新阶段还将涉及新加坡科技研究局材料研究与工程研究所 (IMRE) 和新加坡国立大学 (NUS)。

此次扩建的一个关键目标是开发环保、无铅的压电材料，并实现微型化、经济高效的传感器和执行器的生产。这条设备齐全的生产线将向高等教育机构 (IHL)、初创企业、中小企业和跨国公司开放，助力加速压电微机电系统 (piezoMEMS) 器件的商业化。

预期的应用包括用于 3D 成像和映射的压电微机械超声换能器 (PMUT)、用于个人电子产品的微型扬声器以及用于智能手机相机的自动对焦系统。

意法半导体集团副总裁兼模拟、功率和分立器件、MEMS 和传感器事业部中央研发总经理 Anton Hofmeister 在新闻稿中表示：“我们很高兴能够推进与 A*STAR IME 和 ULVAC 的合作，并欢迎 A*STAR IMRE 和新加坡国立大学在 Lab-in-Fab 2.0 中开展新项目。这项计划将推动压电 MEMS 技术的创新，并支持下一代器件的商业化。”

Lab-in-Fab 项目最初于 2020 年启动，旨在开发一种用于生长锆钛酸铅 (PZT) 薄膜的物理气相沉积 (PVD) 方法。与传统的体压电技术相比，该方法显著降低了铅含量，为目前的扩展奠定了基础。

如今，Lab-in-Fab 已成为新加坡半导体生态系统的重要组成部分，促进了传感器和执行器产品公司、制造商及其供应商之间的合作。