比利时微电子研究中心(Imec)启动12英寸氮化镓项目
在半导体技术不断革新的当下,氮化镓凭借其卓越性能成为行业焦点。近期,比利时微电子研究中心(Imec)宣布,AIXTRON、格芯、科磊、新思科技和维易科成为其300毫米(12英寸)氮化镓低压和高压电力电子应用开放创新计划的首批合作伙伴。
上述项目是Imec氮化镓电力电子工业联盟计划(IIAP)的组成部分,旨在研发300毫米氮化镓外延生长技术,以及低压、高压氮化镓高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺流程。资料显示,目前市场上氮化镓产能主要集中在200毫米规格,Imec依托自身在200毫米氮化镓领域的技术积累,推出了300毫米氮化镓项目,迈出了技术发展的下一步。Imec表示,向300毫米晶圆转型的优势不仅限于扩大产能和降低制造成本,而且还将推动更先进电力电子器件的研发,例如用于CPU和GPU的高效低压负载点转换器。Imec在成功完成300毫米晶圆处理测试与掩模版研发后,正式启动了此次项目,并计划于2025年底前在其300毫米洁净室中全面部署相关技术能力。
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