2025年11月25日，上海芯上微装科技股份有限公司宣布，其自主研发的首台350nm步进光刻机完成出厂调试与验收，正式发往客户现场。这台型号为AST6200的国产光刻机交付，被视为国内半导体设备发展过程中的一个进展。

随着5G通信、新能源汽车、Micro LED显示等新兴产业快速发展，化合物半导体市场需求持续增长。以碳化硅为代表的化合物半导体材料，因其适用于高频率、高功率场景，在功率器件、射频前端等领域具有应用价值。市场研究机构预测，到2030年，化合物半导体器件市场规模预计将达到250亿美元。

高性能芯片制造需要高精度光刻工艺的支持。芯上微装此时推出AST6200国产光刻机这款国产光刻机的推出，反映了国内企业在半导体设备领域的持续投入。在当前半导体产业发展的背景下，此类设备的研发成果受到行业关注。