电科装备首台碳化硅高能离子注入机
2026-01-16 11:54
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电科装备北京烁科中科信研发制造团队连续奋战十余昼夜,成功完成首台碳化硅高能离子注入机的最终调试并顺利发货。该设备针对第三代半导体材料特性定制开发,从仿真设计到整机集成验证仅用不足六个月,突破了高能离子注入工艺在碳化硅领域的核心技术瓶颈。

项目团队以“客户需求”为核心导向,在交付周期紧张、工艺复杂度高的双重压力下,严格执行从设计复核到稳定性测试的全流程品控标准。据现场工程师介绍:“设备调试期间全员坚守岗位,通过系统联调与参数优化,确保每一项指标均达到行业领先水平。”此前,该公司同类设备已在头部客户产线完成验证,其稳定运行表现赢得市场认可,为此次碳化硅专用设备的交付奠定技术基础。此次发货不仅验证了企业从工艺验证到批量交付的完整能力,更凸显其快速响应产线需求的敏捷服务模式。
电科装备北京烁科中科信负责人表示:“我们始终将技术突破与服务响应作为双轮驱动,通过深度追踪客户产线数据,持续优化装备性能。”未来,企业将继续聚焦第三代半导体装备研发,以可靠产品与专业服务支撑产业链自主可控发展。
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