维也纳科技大学创制32纳米间隙纳米机械系统,推动原子力显微镜迈向量子精度
2026-01-20
近日,由维也纳科技大学传感器与执行器系统的丹尼尔·普拉茨(Daniel Platz)与乌尔里希·施密德(Ulrich Schmid)领导,博士生约安·伊格纳特(Ioan Ignat)与闵熙权(MinHee Kwon)共同参与的研究团队,在纳米机械系统微型化与精度上取得重大突破。他们成功研制出间隙仅32纳米的平行板电容器,为未来超高分辨率原子力显微镜等精密传感器奠定了基础。相关研究成果已发表于学术期刊《先进材料技术》。
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