维度网讯，美国牛津仪器公司与纽约大学纳米制造洁净室于2026年5月12日宣布建立合作伙伴关系，在纽约大学坦登工程学院安装美国首台专用于超导量子应用的PlasmaPro ASP原子层沉积(ALD)系统。该系统由美国微电子共享计划通过NORDTECH中心资助，直接服务于《芯片与科学法案》的“实验室到工厂”使命，旨在将量子材料基础研究加速转化为可规模化制造的工业能力。

此次安装的核心设备PlasmaPro ASP是高沉积速率等离子体处理工具，专为超导氮化物薄膜制备而设计。纽约大学纳米制造洁净室主任Davood Shahrjerdi教授表示，作为NORDTECH中心的学术原型设施，纽约大学纳米制造洁净室的角色是开发能够弥合量子技术基础研究与规模制造之间鸿沟的新材料和新工艺，将这项旗舰能力拓展至下一代量子硬件，有助于创造新的器件架构。该系统的关键性能优势在于沉积速率比传统同类替代方案快三倍，其远程等离子体增强型ALD技术相比热ALD和直接等离子体ALD，能够在保持薄膜柔性和一致性的同时，实现更高的器件性能。

项目聚焦氮化物超导材料前沿。纽约大学牵头、2025年11月发表于《应用物理快报》的研究成果确定了碳氮化钽(TaCₓN₁₋ₓ)是一种具有低微波损耗、高动力学电感和宽超导能隙的候选材料，适合利用原子级精度等离子体ALD进行可扩展量子器件制造。美国空军研究实验室Matthew LaHaye博士指出，相比量子信息平台中传统使用的铝基材料，薄膜氮化物超导体能够在更高温度(例如300毫开尔文以上)以及磁场和光照等非理想条件下保持稳健运行，可靠地制备高质量氮化物薄膜有助于降低超导量子平台的运行成本，促进其与其他技术的集成。

NORDTECH中心是美国国防部微电子共享计划设立的八个区域中心之一，总部位于纽约州，由纽约州州长Kathy Hochul于2024年9月宣布获得国防部超过3000万美元联邦拨款。此次ALD系统采购经费直接源自该渠道，体现了联邦资金在填补关键量子制造能力空白方面发挥的作用。通过设立学术原型设施向产业界开放，NORDTECH旨在缩短量子硬件从实验室验证到晶圆厂量产之间的工艺开发周期。

纽约大学纳米制造洁净室是位于布鲁克林的首个学术纳米制造洁净室，拥有百级和千级洁净度的洁净区间，战略聚焦量子科学、先进材料和生物技术领域。牛津仪器等离子体技术部战略研发市场负责人Harriet van der Vliet博士表示，安装美国首台用于超导氮化物ALD系统将帮助纽约大学团队加速先进半导体和量子器件开发，公司期待加强合作关系并支持下一代研究人员。此次合作使纽约大学纳米制造洁净室成为美国首个具备超导量子应用级别ALD能力的学术设施，为全美量子计算、传感与通信领域的原型开发提供了工艺支撑。

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