维度网讯，半导体设备与零部件分销企业SurplusGlobal宣布完成三项与ALD（原子层沉积）工艺及晶圆传输相关的韩国专利注册，这标志着该公司业务正从二手设备交易向设备升级再造技术能力延伸。SurplusGlobal于15日披露，已获得三项韩国专利，内容涵盖ALD反应器密封系统及密封解除方法、ALD阀门监测方法及系统，以及晶圆传输器检测装置及晶圆装载系统。该公司表示，此次专利注册的意义在于，它超越了单纯的二手半导体设备交易，强化了提升设备性能与利用价值的升级再造技术能力。

ALD反应器密封系统及密封解除方法专利，通过稳定控制反应器内部压力来提高工艺可靠性。该技术精确管理反应器上下区域之间的压力差，旨在最大限度减少工艺执行过程中可能出现的压力不平衡。这有助于降低设备开放、维护和重启过程中的风险，并提高现有设备的可重用性和操作可靠性。ALD阀门监测方法及系统专利，基于AI分析半导体设备核心部件阀门的状态。该技术实时分析阀门的开闭动作、压力和流量数据，可早期检测异常迹象并预测未来状态，用于优化预防性维护体系，并作为支持关键部件状态管理和延长设备寿命的基础技术。

晶圆传输器检测装置及晶圆装载系统专利，在晶圆传输和装载过程中精确检测对准状态。该技术利用视觉传感器实时分析晶圆位置和对准状态，可快速检测传输过程中可能出现的对准不良，有助于提高设备重新启动和工艺应用过程中的生产率和质量稳定性。

SurplusGlobal在开展二手半导体设备交易、翻新及技术服务过程中，持续积累设备运行、维护及工艺稳定性相关技术能力。该公司以龙仁半导体设备集群为基础开展设备评估、工艺验证、技术支持及培训活动，此次专利注册正是现场经验与研发活动的成果。这家企业正从单纯转售二手设备，向诊断并改善设备状态、赋予新利用价值的半导体设备升级再造企业拓展技术组合。ALD工艺稳定化、基于AI的设备诊断及晶圆传输技术被视为提高现有设备可重用性、助力半导体生产过程稳定性与生产率提升的核心技术。SurplusGlobal运营着半导体设备与零部件交易平台“SemiMarket”，近期还注册了基于AI的出口管制自动化技术（ECP AI Agent）相关专利，同步加强设备技术与数字平台能力。该公司计划通过连接设备与零部件交易数据、工艺技术及AI诊断技术，促进半导体设备的再利用、再流通及价值再造，并朝着提高全球半导体供应链效率与可持续性的方向扩大技术竞争力。SurplusGlobal代表金正雄（Kim Jeong-woong）表示，半导体设备升级再造不仅是简单地重新使用二手设备，而是正确诊断设备状态、提升性能与利用价值，使其在产业生态系统中被重新利用的过程。此次专利注册将成为SurplusGlobal同时强化设备交易业务与工艺技术能力的重要契机。他补充道，公司正将已获得的ALD及基于AI的设备诊断技术扩展应用于蚀刻工艺设备领域，并以未来将智能化解决方案扩展至主要传统工艺设备整体为目标。

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