维度网讯，韩国SK海力士位于龙仁半导体集群的首座晶圆厂已进入洁净室及工艺公用系统安装阶段。韩国TEMC CNS开始向该工厂交付并安装中央化学品供应系统，意味着项目建设重点正由厂房主体结构逐步转向洁净生产环境、工艺介质输送和设备运行配套。首座洁净室计划于2027年2月开放，较此前安排提前约3个月。

中央化学品供应系统是晶圆制造厂的重要基础设施，负责将高纯度化学品从集中储存区域安全输送至蚀刻、清洗、沉积等生产设备。此次安装范围包括无机及有机大宗化学品供应系统、阀门分配箱以及化学品管理系统，可对化学品的储存、分配和运行状态进行监控。相关设施投入使用后，才能为后续晶圆制造设备进场、连接和工艺调试提供稳定的介质供应条件。

韩国TEMC CNS此次获得的项目合同金额为252.5亿韩元。与普通厂房管线不同，半导体化学品供应系统需要满足高纯度、防泄漏、防污染和连续运行要求，输送管路、阀门、监测装置及设备接口均需在洁净室投运前完成安装和测试。因此，中央化学品系统开始施工，是判断晶圆厂由土建阶段迈入生产设施建设阶段的重要节点。

韩国SK海力士龙仁一期晶圆厂将由两座主体结构和6个洁净室组成。公司已决定追加21.6081万亿韩元建设洁净室和生产设施，加上此前投入，首座晶圆厂整体建设资金约为31万亿韩元。韩国SK海力士表示，新增投入将用于完成厂房结构，并建设从第二阶段至第六阶段的洁净生产空间，提前形成可供后续设备安装和产能扩充使用的制造基础。

龙仁半导体集群位于韩国京畿道龙仁市元三面，规划面积约415万平方米，最终将建设4座先进半导体晶圆厂，并吸引材料、零部件和设备企业形成配套产业区。首座晶圆厂建成后将成为韩国SK海力士下一代DRAM和人工智能存储器的重要生产基地，后续还需推进洁净室内部装修、超纯水与特种气体系统建设、制造设备进场及整线调试。

首座洁净室开放并不等同于晶圆厂立即形成完整量产能力。洁净生产区域完成后，光刻、薄膜沉积、蚀刻、清洗和检测等制造设备还需分批搬入，并完成管线连接、单机验证和工艺联调。此次中央化学品供应系统安装，表明龙仁一期工厂已经进入承接半导体生产设备前的基础设施完善阶段。

按照现有建设安排，韩国SK海力士正在压缩龙仁一期项目工期，以更早获得先进存储芯片生产空间。目前公司尚未披露首批设备的具体进场日期、晶圆月产能及正式量产时间。