2026年2月9日，位于比利时鲁汶的imec研发中心启用了一个2000平方米的无尘室扩建项目，作为欧洲NanoIC试点生产线部署的重要进展。该项目配备了ASML高数值孔径极紫外光刻设备等先进工具，旨在加速2纳米以下芯片技术的研发。欧洲执行副总裁Henna Virkkunen、比利时首相Bart De Wever、弗拉芒大区首席大臣Matthias Diependaele和ASML首席执行官Christophe Fouquet出席了启动仪式。
imec首席执行官Luc Van den hove表示：“自2024年5月宣布imec将主办NanoIC试点生产线以来，我们加速了工具采购和招聘计划。今天启用的无尘室将容纳一流设备，包括ASML的下一代高数值孔径极紫外光刻扫描仪，计划于3月中旬抵达。imec研究人员将与IDM厂商、代工厂、设备和材料供应商、系统公司、初创企业、大学及欧洲其他研究机构合作，共同推进半导体技术超越2纳米节点。NanoIC试点生产线将在人工智能时代强化欧洲工业结构，并促进未来几十年的经济增长和安全环境。”
在欧洲、比利时和弗拉芒政府的支持下，imec计划在鲁汶校区建设一个全新的4000平方米无尘室，以进一步推动NanoIC倡议。未来五年内，NanoIC试点生产线将整合超过一百种新工具，分布在imec及合作伙伴站点，包括CEA-Leti（法国）、弗劳恩霍夫（德国）、VTT（芬兰）、CSSNT-UPB（罗马尼亚）和廷德尔国家研究所（爱尔兰）。
弗拉芒首席大臣Matthias Diependaele解释道：“imec汇聚了人才、知识和国际合作。通过NanoIC试点生产线，欧洲正在追求技术卓越和战略独立，这展示了弗拉芒在研究和创新方面的实力。”ASML总裁兼首席执行官Christophe Fouquet表示：“今天启用的NanoIC试点生产线，包括ASML的高数值孔径极紫外光刻系统，是全球技术领导者合作的范例。得益于欧盟和《欧洲芯片法案》的支持，这有助于欧洲在全球半导体生态系统中扮演更关键角色。”NanoIC试点生产线的采购和运营由芯片联合事业通过欧盟的数字欧洲计划和地平线欧洲计划联合资助，参与国包括比利时、法国、德国、芬兰、爱尔兰和罗马尼亚。
