PI在美推出360mm孔径高精度XY平台
维度网讯,PI推出的新型V-700系列机械轴承XY平台,专为需要高精度但无需气浮轴承的应用场景设计,其中V-783高精度XY直线电机平台是该系列中最具竞争力的薄型XY定位系统之一。该平台在美国设计和制造,拥有360x360mm孔径,可实现长行程、纳米级定位和平稳高速扫描,适用于半导体检测、光子学对准、计量、成像、生物技术、激光微加工、精密组装、显微镜和先进自动化系统。
V-783平台在每个轴上提供超过12英寸(±155mm)的行程,采用紧凑一体化XY结构,相比传统由独立直驱直线平台组成的方案,其厚度更薄且刚度更高。大开口孔径支持透射光应用,而直驱无铁芯无刷直线电机通过消除反向间隙和传动链间隙,实现了平稳且高重复性的多轴运动。关键规格包括:12.2x12.2英寸(310×310mm)行程,兼容300mm晶圆;360x360mm孔径用于透射光;1 nm编码器分辨率,可选增量或绝对编码器;1 m/s最高速度和10 m/s²加速度;±0.07 µm重复定位精度和±0.17 µm定位精度;0.75 µm直线度与平面度;一体化XY设计支持50 kg负载,具备高刚度。绝对编码器选项在上电后即可提供位置信息,无需归零程序,有助于提升设备可用性。
该平台可与PI基于ACS的A-800系列运动控制器搭配,构成高性能运动系统,支持同步多轴操作、EtherCAT网络连接以及先进伺服控制能力。V-783平台为OEM和系统集成商提供了一个稳健的定位平台,在紧凑设计中融合了直驱性能、纳米级分辨率反馈、高几何精度与长行程,适用于精密检测、制造和自动化应用领域。
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