维度网讯，俄罗斯工业和贸易部（Минпромторг）通过两项招标共计拨款近20亿卢布，用于研发和生产微电子和微波组件制造所需的电子束光刻与剥离光刻材料。

第一项招标金额为10.17亿卢布，用于电子束光刻材料开发；第二项招标金额为8.895亿卢布，用于剥离光刻材料开发。两项工作均需在2029年11月前完成。

在“微波抗蚀剂-1”（СВЧ Резист-1）项目框架下，计划研制12种电子束抗蚀剂，替代德国Allresist和Microresist公司、日本ZEON公司以及美国MicroChem公司的产品。“微波抗蚀剂-2”（СВЧ Резист-2）项目则计划开发7种材料，以替代美国LOR和PMGI系列抗蚀剂。文件指出，俄罗斯目前缺乏此类材料的本土生产能力，科研和工业需求此前均依赖国外供应。电子束光刻可制造分辨率达纳米级的超精密结构，广泛应用于芯片和掩模版研发。剥离光刻用于在微电子中形成金属结构，在微波和电力电子领域有重要应用。

新一轮招标是微电子材料进口替代计划的延续。此前，俄罗斯工业和贸易部已拨款用于开发集成电路和半导体组件所需的光刻胶、特种气体及化学材料。

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