维度网讯,GlobalFoundries(GF)宣布,其SLATE晶圆到晶圆键合技术已在业界领先的9SW射频绝缘体上硅(RF-SOI)平台上实现量产就绪,可为紧凑型高性能蜂窝前端提供先进3D集成(3DI)。该技术将在GF位于新加坡的300mm晶圆厂制造,预计于2027年下半年进入量产。

GF的第一代SLATE技术支持晶圆到晶圆(W2W)键合,设计人员可利用该技术将两片9SW晶圆键合,在垂直架构中堆叠和集成大尺寸场效应晶体管(FET)。通过在键合晶圆上折叠大尺寸FET,SLATE技术可将整体芯片尺寸减小多达45%,从而减少智能移动设备中包括开关、低噪声放大器(LNA)和天线调谐器在内的空间受限应用的射频板空间和总设计面积。
9SW RF-SOI平台于2023年首次推出,是GF最先进的射频前端模块(FEM)解决方案,覆盖5G移动设备和卫星通信的sub-8GHz和FR3频段。作为GF第四代XSW技术,9SW将待机电流显著降低以延长电池寿命,并通过更低导通电阻和关断电容(Ron*Coff)实现了超过20%的效率提升。
GF射频业务高级副总裁Shankaran Janardhanan表示,在9SW上部署SLATE代表了射频集成领域的重要一步,可使客户在不牺牲射频性能的情况下,为下一代5G设备设计更紧凑、更节能的解决方案。他表示,通过将业界领先的9SW平台与SLATE先进封装技术相结合,正在为下一代移动和无线应用的创新解锁新机遇。
Cadence定制IC和PCB集团企业副总裁Vinod Kariat表示,GF的SLATE技术应用于其9SW平台代表了射频前端集成的重要进步,设计人员可利用该技术克服传统的缩放和集成挑战。通过Cadence的Virtuoso Studio同质集成、分析和验证,用户可以释放SLATE的3D集成潜力,为设计人员提供速度和信心,将下一代5G前端模块从概念推向硅片。
GF的SLATE晶圆到晶圆键合技术为其差异化技术(包括FDX FD-SOI、RF-SOI和硅锗(SiGe))提供了异构3DI路线图,从而在数据中心、卫星连接、物联网和移动设备等不同市场中实现更强大的系统级能力。通过GF Connect门户可获取集成工艺设计套件(PDK),以帮助快速启动设计流程。9SW和9SW SLATE可通过GF的GlobalShuttle多项目晶圆计划进行原型验证,计划于今年下半年启动流片。
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